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半导体生产过程及测试环节温度控制

气体制冷加热控温系统

半导体控温装置chiller

半导体控温装置chiller

product & project

适用于电子元件的精确温度控制。在用于恶劣环境的半导体电子组件制造中，IC封装组装、工程和生产测试阶段包括电子热测试和其他温度（-45°C至+250°C）下的环境测试模拟。一旦投入实际使用，这些半导体器件和电子产品可以暴露在极端的环境条件下，以满足苛刻的军事和电信可靠性标准。

25000㎡
生产车间
超3亿
年产值
16000+
服务客户提供控温解决方案

半导体控温装置chiller

半导体温控装置Chiller 主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制，产品有流体氟化液控温（最低-100度)、气体冷热快速温变、快速温变卡盘、低温气体制冷机（-120度）、直冷型制冷机组（-150度）等。公司在系统中应用多种算法（PID、前馈PID、无模型自建树算法），实现系统快速响应、较高的控制精度。

应用：半导体生产过程及测试环节温度控制，保障从前端到后端的整体半导体工艺流程稳定可靠

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Chiller 7℃~40℃
型号FLT-002FLT-003FLT-004FLT-006FLT-008FLT-010FLT-015
FLT-002WFLT-003WFLT-004WFLT-006WFLT-008WFLT-010WFLT-015W
温度范围5℃～40℃
控温精度±0.05℃（出口温度稳态）
流量控制  10～25L/min  5bar max15～45L/min  6bar max25～75L/min  6bar max
制冷量at10℃6kw8kw10kw15 kw20kw25kw40kw
内循环液容积4L5L6L8L10L12L20L
膨胀罐容积10L10L15L15L20L25L35L
制冷剂R410A
载冷剂硅油、氟化液、乙二醇水溶液、DI等  （DI温度需要控制10℃以上）
进出接口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1
冷却水口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG1ZG1ZG1ZG1 1/8
冷却水流量at20℃1.5m³/h2m³/h2.5m³/h4m³/h4.5m³/h5.6m³/h9m³/h
⼯艺过程温度控制可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度
尺寸950*380*1055950*380*1055950*380*1055980*430*1400980*430*14001080*600*15001080*600*1500
温度扩展通过增加电加热器，扩展-25℃～80℃
Chiller -25℃~40℃
型号FLT-202FLT-203FLT-204FLT-206FLT-208FLT-210FLT-215
FLT-202WFLT-203WFLT-204WFLT-206WFLT-208WFLT-210WFLT-215W
温度范围-25℃～40℃
控温精度±0.05℃（出口温度稳态）
流量控制10～25L/min ±0.315～45L/min ±0.325～75L/min ±0.3
流量控制采用变频器调节，循环泵最大压力5bar
制冷量at-15℃2kw3kw3.8kw6kw7.6kw10kw15kw
内循环液容积4L5L6L8L10L12L20L
膨胀罐容积10L10L15L15L20L25L35L
制冷剂R404A
载冷剂硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
进出接口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1
冷却水接口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1ZG1 1/8
冷却水流量at20℃1.2m³/H1.6m³/H2.6m³/H3.6m³/H5.5m³/H7m³/H10.2m³/H
⼯艺过程温度控制可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度
尺寸950*380*1055950*380*1055950*380*1055980*430*1400980*430*14001080*600*15001080*600*1500
温度扩展通过增加电加热器，扩展-25℃～80℃
Chiller -45℃~40℃
型号FLT-402FLT-403FLT-404FLT-406FLT-408FLT-410FLT-415
FLT-402WFLT-403WFLT-404WFLT-406WFLT-408WFLT-410WFLT-415W
温度范围 -45℃～40℃
控温精度±0.05℃（出口温度稳态）
流量控制10～25L/min  5bar max15～45L/min 6bar max25～75L/min 6bar max
制热采用压缩机制热，防止冷凝器结霜技术
制冷量at-35℃1kw1.4kw1.8kw2.5kw3.3kw5kw8kw
内循环液容积4L5L6L8L10L12L20L
膨胀罐容积10L10L15L15L20L25L35L
制冷剂R404A
载冷剂硅油、氟化液、乙醇水溶液等
进出接口尺寸ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG3/4ZG1ZG3/4
冷却水接口ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1ZG1ZG1 1/8
冷却水流量at20℃1.5m³/H2.4m³/H3.5m³/H5m³/H5.5m³/H6m³/H8m³/H
⼯艺过程温度控制可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度
尺寸950*380*1055950*380*1055950*380*1055980*430*1400980*430*14001080*500*15001080*500*1500
温度扩展通过增加电加热器，扩展-25℃～80℃
Chiller -30℃~90℃ 变频 双路
型号FLTZ-305WFLTZ-305W/2T  双系统
温度范围-30℃~40℃-30℃~40℃-30℃~40℃
控温精度±0.05℃（出口温度稳态）±0.05℃（出口温度稳态）±0.05℃（出口温度稳态）
流量控制15～45L/min ±0.315～45L/min ±0.315～45L/min ±0.3
泵压力6bar max6bar max6bar max
制热2.5kw2.5kw2.5kw
制冷量at15℃11kw11kw11kw
制冷量at-15℃5kw   约4500rpm5kw   约4500rpm5kw   约4500rpm
内循环液容积8L8L8L
膨胀罐容积15L25L
导热介质氟化液、防冻液、导热硅油等
导热介质接口ZG3/4ZG3/4ZG3/4
冷却水接口ZG3/4ZG3/4
冷却水30L/min at20℃60L/min at20℃
断路器40A80A
⼯艺过程温度控制可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度
尺寸450*700*1850650*850*1850
温度扩展选配3.5kw电加热，温度可扩展到90℃，电源需要改成380V
Chiller 低温复叠制冷系列 -80℃~80℃
型号FLT-803WFLT-805WFLT-806WFLT-808WFLT-810W
温度范围-80℃～+80℃
控温精度±0.05℃ （出口温度稳态） 
流量控制  7～25L/min12～45L/min
流量控制采用变频器调节，根据流量传感器反馈信号自动调节转速，循环泵最大压力6bar
制冷量at-70℃0.6KW1KW1.5KW2KW3KW
加热功率2KW2KW2KW3.5KW3.5KW
内循环液容积4L5L6L8L10L
膨胀罐容积10L10L15L15L20L
导热介质氟化液
进出接口ZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG3/4
冷却水接口ZG3/4ZG3/4ZG3/4ZG1ZG1
冷却水at20℃1.8m3/h2.5m3/h3m3/h5m3/h6m3/h
断路器25A25A32A40A50A
⼯艺过程温度控制可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度
尺寸550*700*1750650*850*1850700*850*1850700*850*1850800*1200*1850
Chiller 低温复叠制冷系列 -100℃~80℃
型号FLT-1002WFLT-1004W
温度范围-100℃～+80℃-100℃～+80℃
控温精度±0.05℃（出口温度稳态）±0.05℃（出口温度稳态）
流量控制7～25L/min12～45L/min
流量控制采用变频器调节，根据流量传感器反馈信号自动调节转速，循环泵最大压力6bar
制冷量at-90℃1.5KW3KW
加热功率3.5KW5.5KW
内循环液容积5L8L
膨胀罐容积10L15L
导热介质氟化液
导热介质接口ZG3/4ZG3/4
冷却水接口ZG3/4ZG1
冷却水at20℃50L/min 2bar~7bar100L/min 2bar~7bar
断路器32A63A
⼯艺过程温度控制可根据⾃创⽆模型⾃建树算法和串级算法相结合来控制远程⽬标温度
尺寸700*800*1850800*1200*1850
Chiller 换热控温（⽆压缩机）（20℃~90℃）
型号ETCU-005WETCU-015WETCU-030WETCU-050WETCU-100WETCU-200WETCU-300W
温度范围冷却水温度 +5℃~90℃
控温精度±0.05℃（出口温度稳态）
冷却水温度7℃~30℃ 采用西门子/霍尼韦尔调节阀控制冷却水流量
冷却能力5kw15kw30kw50kw100kw200kw300kw
测试条件：最大循环量时，控温温度与冷却水温度温差15℃
循环泵流量7~20L/min 5bar15~40L/min 5bar20~60L/min 5bar40~110L/min 5bar150~250L/min 5bar250~500L/min 5bar400~650L/min 5bar
储罐容积5L10L20L30L60L120L240L
尺寸480*750*390480*750*390480*750*500定制定制定制定制

产品优势：

chiller 的排吸气温度（压力）、冷凝温度、冷却水温度（压力）、进出液体（气体）温度（压力）、用电功率、各部件电流、电压、水箱液位等重要信息均通过传感器接入控制系统进行全面管理监控记录。

  • 40℃以内加热方式采用压缩机热气加热。
  • chiller 循环系统采用全密闭设计、循环泵采用磁力驱动泵。
  • Chiller 100%氦检测，100%安规检测，确保系统安全可靠。
  • chiller 100%经过24小时连续运行拷机。
  • 操作界面：无锡冠亚定制7英寸彩色触摸屏，温度曲线显示\EXCEL 数据导出
  • 循环系统：整个系统为全密闭系统，低温不吸收空气中水份，不挥发导热介质，低温自动补充导热介质进入循环系统。
-45~+40℃控温范围
±0.05℃控温精度
5000+年产量