全站搜索
控温范围：-150~+225℃；控温精度：±0.1℃
Solution
无锡冠亚智能装备有限公司研发生产和销售包括半导体控温Chiller、射流式高低温冲击测试机、半导体直冷直热机和气体冷却装置等专用设备，广泛应用于半导体前道、后道、LED、LCD、太阳能光伏等领域，为客户提供创新、高效、可持续的解决方案。
半导体产品方案：
解决方案优势：
主要应用于半导体行业冷热源动态恒温控制，为刻蚀、沉积、抛光、薄膜生长、清洗等提供精确温度控制，控温范围从-100到+225℃。
采用公司自研的无模型自建树算法和一般抗滞后串级算法相结合，提升温度控制精度，产品控温精度±0.1℃。
product
高可靠性 高安全性 高智能化 控温解决方案
Product Introduction Video
产品内容：
无锡冠亚智能装备有限公司提供FLT、FLTZ、ETCU、AES、LQ、ZLJ、YQL等一系列的半导体控温装置，包含液体制冷加热动态控温，气体制冷加热，气体冷却，气体冷凝回收等一篮子产品方案。
控温内容：
产品提供了多样化的控温需求，从±0.1度到±1度；单制冷控温支持-150度、-120度、-115度、-100度；高低温支持-120~+225度、-75~+225度,、-105~+125度。
无锡冠亚智能装备
