【客户案例】某企业半导体制造中半导体控温chiller应用案例

2025 年 1 月 16 日公司新闻半导体控温chiller370

　　半导体控温chiller适用于工艺制程中准确控制反应腔室温度，是一种用于半导体制造过程中对设备或工艺进行冷却的装置，冠亚恒温可为其提供了定制化的半导体Chiller解决方案。该方案采用了制冷技术和智能控制系统，能够根据实际生产需求自动调节制冷量，确保生产环境始终保持在适合温度范围内。

冠亚恒温半导体控温chiller

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product & project 多通道独⽴控温，可以具备单独的温度范围、冷却加热能⼒、导热介质流量等，采⽤独⽴的两套系统，根据所需的温度范围选择采⽤蒸汽压缩制冷，或者采⽤ETCU⽆压缩机换热系统，系统可通⽤膨胀罐、冷凝器、冷却⽔系统等，可…
ETCU换热控温单元
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product & project 多通道独⽴控温，可以具备单独的温度范围、冷却加热能⼒、导热介质流量等，采⽤独⽴的两套系统，根据所需的温度范围选择采⽤蒸汽压缩制冷，或者采⽤ETCU⽆压缩机换热系统，系统可通⽤膨胀罐、冷凝器、冷却⽔系统等，可…
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product & project 多通道独⽴控温，可以具备单独的温度范围、冷却加热能⼒、导热介质流量等，采⽤独⽴的两套系统，根据所需的温度范围选择采⽤蒸汽压缩制冷，或者采⽤ETCU⽆压缩机换热系统，系统可通⽤膨胀罐、冷凝器、冷却⽔系统等，可…
FLTZ变频多通道系列
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product & project 多通道独⽴控温，可以具备单独的温度范围、冷却加热能⼒、导热介质流量等，采⽤独⽴的两套系统，根据所需的温度范围选择采⽤蒸汽压缩制冷，或者采⽤ETCU⽆压缩机换热系统，系统可通⽤膨胀罐、冷凝器、冷却⽔系统等，可…
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product & project 40℃以内加热⽅式采⽤压缩机热⽓加热。Chiller循环系统采⽤全密闭设计、采⽤磁⼒驱动泵。Chiller100%氦检测，100%安规检测，确保安全可靠。chiller100%经过24⼩时连续运⾏拷机。 25000㎡生产车间超3亿年产值 16…
FLTZ变频系列
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product & project 40℃以内加热⽅式采⽤压缩机热⽓加热。Chiller循环系统采⽤全密闭设计、采⽤磁⼒驱动泵。Chiller100%氦检测，100%安规检测，确保安全可靠。chiller100%经过24⼩时连续运⾏拷机。 25000㎡生产车间超3亿年产值 16…
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　　目前冠亚恒温半导体控温chiller按照不同产品类型，包括单通道和双通道，主要有FLTZ变频单通道系列（-100℃~+90℃）、FLTZ变频多通道系列（-45℃~+90℃）、无压缩机系列ETCU换热控温单元（+5℃-+90℃）
　　半导体行业投入大，制造工序繁多。冠亚恒温半导体控温chiller帮助客户在每个环节进行严格的质量把控，提供高稳定性的温度控制，保障产品的稳定性和可靠性。
　　冠亚恒温拥有超过14年的温度控制经验和与各行业配套的经验，为客户提供标准化和定制化的温度控制产品，结合专业技术知识，确保满足半导体工艺中的苛刻温度要求。